SEMI Testing

SEMI規格関連試験

SEMI規格に対応した装置評価試験（トレーサガス・産業衛生試験）

半導体製造装置に関するガイドラインであるSEMI規格について、トレーサガス
テスト及び産業衛生試験を行っています。

SEMI S2規格においては、危険性の化学物を使用または発生する装置について、
排気換気の有効性評価、及び雰囲気の化学物質濃度評価を行うことが規定されて
います。

※弊社は認証機関ではなく、試験機関となります。

試験について相談する対応内容を見る

こんなお悩みは
ありませんか？

SEMI S2対応のための評価試験を行いたい
装置の排気・換気性能を確認したい
化学物質の漏洩リスクを評価したい
トレーサガスを用いた安全な試験を行いたい
実ガスでの濃度評価を実施したい
通常運転時・保守時の安全性を確認したい

SEMI Standards

SEMI規格とは

SEMI規格は、半導体製造装置に関する国際的なガイドラインであり、
SEMIS2では、危険性のある化学物質を使用または発生する装置に対して、

・排気・換気の有効性評価
・装置周辺の化学物質濃度評価

が求められています。
巴商会湘南研究所では、これらの評価に必要な試験を実施しています。

Service

提供サービス

01 トレーサガステスト

危険性のある化学物質を対象に、トレーサガスを用いて装置内および周辺の濃度測定を行います。

特徴

・実ガスを使用しないため安全に試験可能

・漏洩リスクなく評価できる

・排気・換気性能の確認に有効

02 産業衛生試験

実際の化学物質を対象に濃度測定を行い、SEMI規格の要求値と比較した
評価を実施します。

特徴

・実ガスによる実環境評価

・通常運転時・保守作業時などシーン別測定

・実態に即した安全性評価

Testing Process

試験の進め方・測定シーン

試験は、装置の使用状況に応じて実施します。

・通常運転時の試験
・保守・メンテナンス時の試験
・装置周辺の酸素濃度確認試験
・条件変更時の評価

現場条件に合わせた測定計画をご提案します。

Safety Assessment

設備安全診断との連携

SEMI規格関連試験は、設備安全診断の一環としても対応可能です。
排気性能や化学物質のリスク評価を通じて、装置全体の安全性向上に向けた検討を支援します。

Case

実績

半導体製造装置を中心に、多様な装置での評価実績があります。

対応装置例

常圧CVD

減圧CVD

プラズマCVD

プラズマエッチャー

拡散炉

ランプアニーラー

イオン注入装置

CMP装置

ケミカル自動供給装置

ウェットステーション

オゾナイザー

除害処理装置

ドライポンプ

マスクリペア装置

Flow 試験の流れ

お問い合わせ

測定内容の
ご確認・お打ち合わせ

試験実施（お客様工場または弊社ラボ） ※試験期間目安：1〜5日

報告書のご提出

FAQ よくある質問

A
SEMI規格は、半導体製造装置の安全性や性能などに関する国際的なガイドラインです。弊社では、SEMI S2規格に基づくトレーサガステストや産業衛生試験を実施しております。