受託実験

次世代の半導体製造プロセスや化学プラントでは、HBr、HCl、NH3など、

腐食性の高いガスが使用されます。

こうしたガスによる部材の劣化や腐食は、装置トラブルや生産停止に

つながるリスクがあります。

一方で、自社内に腐食性ガスを安全に取り扱える実験環境を構築するには、

設備・安全対策・法規対応の面で大きな負担が発生します。

湘南研究所では、長年のガス取扱実績を活かし、条件を制御した環境下で腐食性ガスの

暴露・耐腐食性試験に対応します。

ガス供給設備、検知器、除害設備を備えた環境で、部材や配管部品の評価を安全に

進めることが可能です。

• 半導体装置メーカー
• バルブメーカー
• 配管部材メーカー
• 材料開発企業
• 化学プラント関連企業

SiH4や各種有機金属ソースを用いた成膜実験は、使用するガスの自己着火性や

毒性リスクがあるため、一般的なラボでは実施が難しい場合があります。

特に、新規ガス材料や成膜条件の検証では、安全なガス供給・排気・除害の仕組みが

整った実験環境が不可欠です。

湘南研究所では、シリンダーキャビネットから除害装置までつながる安全性に配慮した

実験ラインを活用し、特殊高圧ガス等を用いた成膜プロセス試験を支援します。

実験スペースの提供だけでなく、実験系設計の補助、ガス供給作業、実験作業の代行、

必要に応じた分析補助まで対応可能です。

• デバイスメーカー
• 成膜装置メーカー
• 成膜プロセス開発者
• 新規ガス材料の開発企業
• 研究開発部門

可燃性ガスや反応性ガスを複数組み合わせて使用するプロセスでは、意図しない着火や

反応が発生するリスクがあります。

特に、

• ガス混合条件の変化
• 温度・圧力条件の違い
• 微量成分の影響

によって、予期しない反応や着火が起こる可能性があり、装置の安全設計や運用条件の

検証が重要となります。

しかし、こうした評価は高い危険性を伴うため、自社環境での実施が難しいケースも

多くあります。

湘南研究所では、可燃性ガス・反応性ガスを対象とした混合条件下での挙動評価や、

着火リスクに関する検証試験に対応しています。

ガス供給設備、検知器、除害設備を備えた環境のもと、条件を制御しながら安全に

試験を実施することが可能です。

また、実験条件の設計段階から支援し、評価結果をもとにした安全対策や運用条件の

検討にも対応します。

• デバイスメーカー
• 成膜装置メーカー
• 成膜プロセス開発者
• 新規ガス材料の開発企業
• 研究開発部門